ULVAC愛發(fā)科  多級羅茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

特點

高溫區(qū)域均熱化

實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等

ULVAC愛發(fā)科  多級羅茨型干泵  HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

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業(yè)、SHOWASOKKI昭和測器、TOPCON拓普康、NIPPON GEAR千斤頂、Watty瓦蒂

化學(xué)品：SHINETSU信越化學(xué)、THREEBOND三鍵、TOAGOSEI東亞合成、三井化學(xué)MITSUI、KONISHI小西

設(shè)備類產(chǎn)品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和電機、OSAWA大澤、TORAY東麗、EOLUS真空企業(yè)

株式會社、OKK大宮工業(yè)、KOTOHIRA琴平工業(yè)、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、CCS光源、MASDAC隧道式烘烤爐、鈴與工業(yè)株式會社納豆生產(chǎn)設(shè)備、IKURATOOLS育良精機、ANLET安耐

特、Kitagawa北川、YOSHIKAWA吉川鐵工、NAKAMURA中村留、SEIBU西部、KIWA紀和機械、

SHIZUOKA靜岡鐵工所、KAN管制作所、TAKEDA武田機械、MEITOU名東化工、FRISTAM弗里森、IWAKI易威奇

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科學(xué)SIBATA、FUNATECH船越龍、SEN日森、CHUCK小林鉄工、SAKAGUCHI坂口電熱、帝國TEIKOKU、仲精機NAKASEIKI、SEM坂本、J-SCOPE、HOWA、SOHGOHKEISO綜合計裝、谷沢製作

所、豊中ホツト研究所、 日本へルメシール株式社、MOBECA、VECCL、TEAC、Morokoshi、OSAKA、MUTOH武藤、KINTSUNE、TOYOOKI豐興、HIROTAKA、U-Technology、KDS、ORGANO奧加諾、ONOSOKKI小野

小眾產(chǎn)品：IRI軟水機、USUTANI臼谷電子點焊機、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發(fā)生裝置、工業(yè)CT無損檢測 國產(chǎn)（可提供技術(shù)支持與方案）、hibikicorp

新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機

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